Тип | Криогенный |
Бренд | Brooks Automation |
Вес, кг | 118,2 |
Время охлаждения, мин | 225 |
Емкость аргона, л | 6000 |
Емкость водорода, л | 45 |
Категория | Вакуумный насос |
Модель | OnBoard 500 |
Назначение | Промышленный |
Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-10) |
Пропускная способность по аргону, торр-л/с | 6 |
Серия | OnBoard |
Скорость откачки по H2O, л/с | 30000 |
Скорость откачки по азоту, л/с | 10000 |
Скорость откачки по аргону, л/с | 8400 |
Скорость откачки по водороду, л/с | 12000 |
Страна | США |
Производитель | Brooks Automation |